Mise en place d'un procédé de fabrication d'un moule en résine SU-8 2100 et utilisation du PDMS

Date : 2004

Type : ter

Formation : M1 EEA

Mots Clefs

Resumé

Les Dess Microélectronique ont étudié au premier semestre la possibilité d'utiliser le PDMS ( silicone translucide ) en microtechnologie de part sa souplesse et sa bonne résistance aux contraintes mécaniques. Lors de ce TER, il s'agissait donc de "modeler" le PDMS selon différents motifs, à l'aide d'une résine épaisse jamais utilisée à l'IETR, en l'occurence la SU-8 2100. Nous avions dûs mettre en place un procédé de fabrication optimal, en choisissant judicieusement des paramètres temps et température lors de différentes étapes technologiques. Dans un deuxième temps, il s'agissait d'étudier le comportement du PDMS avec des matériaux tels que l'aluminium, le SiO2 ou d'autres résines afin d'étendre les applications possibles de ce tout nouveau matériau.

Pas de poster